發(fā)布日期：2026-06-14 11:24 點(diǎn)擊次數(shù)：124
國度學(xué)問產(chǎn)權(quán)局信息涌現(xiàn)，上海中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司苦求一項(xiàng)名為“改善硅拋光片外延后大顆粒盡頭的樣式、硅拋光片”的專利，公開號(hào)CN122185042A，苦求日歷為2026年4月。
專利綱目涌現(xiàn)，本發(fā)明公開了一種改善硅拋光片外延后大顆粒盡頭的樣式，屬于半導(dǎo)體硅片加工技藝領(lǐng)域。該樣式包括：對(duì)研磨后硅片使用磨粒粒度2000#?3000#的倒角砂輪進(jìn)行倒角加工，限度砂輪轉(zhuǎn)速≥8000rpm、硅片加工速率≤25mm/s；對(duì)倒角后硅片進(jìn)行酸腐蝕，腐蝕去除量≥28μm；選拔兩步拋光法對(duì)酸腐蝕后硅片進(jìn)行倒角面拋光，第一步旯旮拋光兼顧去除量與質(zhì)料，第二步旯旮拋光安適倒角面質(zhì)料，并限度旯旮拋光總時(shí)間大于100秒；隨后進(jìn)行成例名義拋光、洗凈制成硅拋光片并進(jìn)行外延。本發(fā)明從源泉防止硅拋光片倒角面在外延過程中生成多晶硅粒并零散至外延面，在無需增多額外開導(dǎo)和不改造基本工藝進(jìn)程的前提下，顯耀排斥了致使裁減外延后的大顆粒盡頭，百家樂2026世界杯中國官方下載進(jìn)步了居品良率與可靠性。
天眼查貴府涌現(xiàn)，上海中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司，開發(fā)于2019年，位于上海市，是一家以從事聯(lián)想機(jī)、通訊和其他電子開導(dǎo)制造業(yè)為主的企業(yè)。企業(yè)注冊(cè)成本48000萬東談主民幣。通過天眼查大數(shù)據(jù)分析，上海中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司參與招投標(biāo)名目18次，財(cái)產(chǎn)陳跡方面有商標(biāo)信息1條，專利信息292條，此外企業(yè)還領(lǐng)有行政許可89個(gè)。
聲明：市集有風(fēng)險(xiǎn)，投資需嚴(yán)慎。本文為AI基于第三方數(shù)據(jù)生成，僅供參考，不組成個(gè)東談主投資淡漠。
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